TianYanCha(天眼查)에 따르면 최근 CXMT(长鑫存储技术有限公司)는 여러 개의 특허를 공개하였고 그중 하나가 '리소그래피 장비'이며 공개번호는 CN114280891A다.

CXMT은 특허문서중 반도체 가공 과정에서 '리소그래피 장비' 특허가 노광불량을 개선하고 웨이퍼 가공품질을 향상시킬 수 있다고 지적했다.