《横琴粤澳深度合作区促进集成电路产业发展若干措施》于7月25日正式公布。其中，对新设立或新迁入的企业，其设立或迁入后以货币方式实缴出资不低于1000万元的，按实缴出资的10%给予一次性最高500万元奖励。

1.对开展多项目晶圆（MPW）流片的企业或科研机构，按照流片费用的 70%给予年度最高 500 万元补贴。

2. 对开展工程产品量产前全掩膜首轮流片的企业或科研机构，按照流片费用的 50%给予年度最高 3000 万元补贴。对工艺制程在 14nm 以下的，年度补贴最高 2500 万元；对工艺制程在28nm 以下的，年度补贴最高 1500 万元；对其它工艺制程的，年度补贴最高 800 万元。