中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）发布2025年第三季度报告。公告显示，中微公司2025年前三季度营业收入为80.63亿元，同比增长约46.40%；归母净利润为12.11亿元，同比增长32.66%。

其中第三季度营收为31.02亿元，同比增长50.62%；归母净利润为5.05亿元，同比增长27.50%。

中微公司是一家微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。中微总部位于上海浦东新区，聚焦亚洲，并为全球的客户提供技术和设备的解决方案。作为制造和创新的中心，中国和亚洲具有得天独厚的优势和高速成长的市场，而这使中微有无限广阔的发展前景。

关于此次业绩，财报显示，收入按产品来看，前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%。

中微公司表示，公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。

中微公司为先进存储器件和逻辑器件开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已经顺利进入市场，据称其设备性能达到国际领先水平，薄膜设备的覆盖率不断增加。

中微公司硅和锗硅外延EPI设备已顺利运付客户端进行量产验证，并且获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，中微公司正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端开展生产验证。

今年10月，中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目正式开工，西南地区战略布局全面启动。中微成都项目总投资额约30.5亿元。据介绍，中微成都项目对于提升成渝地区半导体先进制程关键技术研发和国产化水平，补齐西南地区晶圆加工先进设备制造短板具有重要战略意义。